Design e Fabricação de Sistemas MicroElectroMechanical (MEMS)

         Topicos da Palestra

        ●  Introdução: Visão Global de MEMS (MicroElectroMechanical Systems)

        ●   O que É MEMS: Dimensionamento, Mecânica Quantica e Mecânica Continuum

        ●   Breve História da Microeletrônica e MicroElectroMechanical Systems

        ●   Exemplos Típicos de MEMS , MOEMS, RF-MEMS,  BIO-MEMS, etc.

        ●   Fundamentos de Micro-Sensores e Micro-Atuadores

        ●   Exemplo de Projeto de Sensores de Pressão para Airbag  e para CardioMEMS

        ●   Tecnologias de Fabricação de MEMS: CMOS, Bulk Machining, Micromachining e LIGA

        ●   Equipamentos de Fabricação de MEMS

 

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Faculdade de Ciências e Tecnologia